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半导体连续隧道炉烘干线的温度控制

(一)概述

半导体器件需在连续隧道炉烘干线上进行烘干，炉内温度必须按一定要求变化，即有升温、保温、降温过程。所以，隧道炉烘干线的温度控制是很重要的。

(二)系统组成和控制原理

这是一个连续的生产过程。隧道炉烘干线分成7个区，分别装有加热器。需要烘干的半导体路件技时间要求顺序从区运行到第7区(例如根据工艺要确定1， 2区为升温区，隧道烘干炉，3，隧道烘干炉价格， 4， 5区为保温区，6， 7区为降温风)。温度控制系统由热电偶、调节器、调压器和加热器组成，以控制各区的温度，满足产品的要求，达到节能的目的。

常规真空干燥

隧道炉烘干线真空干燥的原理与常压干燥基本一样，但在真空状态下，水分 的蒸发温度较在常压下的蒸发温度低，整个千燥过程可以在较低 的温度下进行，从而使蔬菜免受高温之***。可以根据蔬菜特性 的要求，控制不同的真空度和干燥温度，以保持蔬菜的品质。 隧道炉烘干线真空干燥的设备只要在常压干燥设备的基础上增加密封的真 空装置即可。使用较多的是箱式隧道炉烘干线真空干燥器，蔬菜真空干燥使用 的真空度在533.3—6666Pa(4-50mmHg)，产品的品温约在常温 至70℃以下。

隧道炉

隧道炉是连续式的车底炉，能处理很重的工件。它的炉体是个长的隧道，隧道烘干炉生产，利用推料机使一列料车首尾相接地在铁轨上运行。这些料车同车底式炉的料车相仿，车面上砌有耐火砖，侧面有砂封。隧道炉烘干线的徽烧室位于炉子两侧。为了使工件均匀受热，应将工件架空起来，燃烧产物可进到工件的下面去。

隧道炉烘干线的好处是可以在产童很大的情况下严格遵守退火的温度曲线，缺点是炉子一旦建成以后，其温度制度就无法变更。所以在工艺制度固定不变的情况下才能采用隧道炉烘干线。

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